1. （1）采购货物有关信息
设备或材料名称/参数/数量/交货期/交货地点/是否接受进口产品
设备或材料名称：8英寸氧化硅片；
项目 |
规格 |
量测方法 |
氧化要求 |
5000A±10% |
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氧化层形成方式 |
Dry Oxidation |
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粗糙度 |
≤0.4nm |
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氧硅腐蚀速率 |
~30Å/min |
H2O：HF=100：1 |
颗粒 |
<10@0.3um |
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倒角 |
Semi标准 |
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碳含量 |
Semi标准 |
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氧含量 |
Semi标准 |
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金属沾污 |
Fe, Cr, Cu, Ni |
≤5E10 atoms/cm2 |
Process Guarantee |
Al, Zn, K, Na, Ca |
≤5E10 atoms/cm2 |
Ti, V, Mn, Co, Mg, Pb, W |
≤1E11 atoms/cm2 |
材料 |
Silicon Single Crystal |
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电阻率 |
0.5-100 ohm.cm |
5 points: center (1pt) + edge 6mm (4pts) |
电阻率均匀性 |
≤25% |
5 points: center (1pt) + edge 6mm (4pts); (max-min)/min *100% |
晶向 |
(100) |
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晶向偏离 |
0±0.5° |
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直径 |
200±0.2 mm |
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定位槽notch |
{110}±1.0° symmetrical as per SEMI Standard |
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厚度 |
725±25μm |
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总厚度变化 |
≤10μm |
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局部平整度 |
≤2μm (20mm*20mm) |
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弯曲度 |
≤40μm |
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翘曲度 |
≤40μm |
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掺杂类型 |
P |
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掺杂剂 |
B |
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正面 |
Chem-Mech. Polished |
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背封 |
Chem-Mech. |
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参数：
数量：800片
交货期：收到预付款后60日内
交货地点：北京市海淀区北京航空航天大学
是否接受进口产品：是
（2）采购服务有关信息
服务内容/服务时间/服务地点/服务需求/备注
2、采购预算（最高限价）：32万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、法人证书扫描件、销售资质证明扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2024年6月24日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2024年6月25日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
6月24日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学第一馆（近新北门）
李老师收，手机号： 15066331421
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
曹老师，邮箱：kaihua.cao@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
